近日，蓝海科学仪器自主设计的闭循环高低温真空探针台顺利入驻上海某高校实验室。工程师完成精密安装后，开展降温与真空参数验证，各项指标均达标。现场为师生细致讲解操作要点，并实地完成样品测试，让设备快速投入科研使用。

闭循环高低温真空探针台

技术指标

1、探针台

可用于半导体芯片高精度光电性能测试，可提供不低于6.5K~350K的可控测试环境温度范围，且样品环境真空度优于5×10^-4 torr。

u 探针台为闭循环低温控制系统，可控温度范围6.5K~350K

u 探针台从室温到最低温120min，最低温升到室温90min

u 探针台安装四路直流探针，可测试小于2英寸的样品

u 高精度探针座X方向位移距离50mm，Y方向位移距离25mm，Z方向位移距离25mm，位移精度3μm，每路探针配一个三同轴接口

u 探针安装托热锚(热沉)到样品台同级平台，减小探针和样品台同级平台之前的温差，探针安装托温度低于20K

u 探针台配置两英寸样品台，样品台浮地屏蔽设计，带背部电极，样品台表面镀金处理，探针运动范围覆盖整个样品台

u 探针台铝电镀真空室(内径215mm×180mm)、铜辐射屏镀金(内径150mm，高度100mm)，辐射屏上带有观察窗(材料蓝宝石，直径50mm)和针臂进入口

u 探针台真空罩观察窗净尺寸直径65mm，观察窗材料使用熔融石英

u 探针台样品环境真空度优于 5x10^-4 torr，从大气压到 5x10^-4 torr 时间小于1小时，真空室桌面下端安装KF25真空抽口1个，真空口抽口上安装可拆卸的KF25手动真空阀门，真空室桌面上端安装1个独立放气阀

u 探针台温度稳定性：全温区优于±50mk

u 探针台配置样品台上安装1个硅二极管传感器和1个单头加热器，用于测量和控制样品台温度。探针臂上安装1个硅二极管传感器，用于监视探针臂的实时温度。辐射屏上安装1个PT100(铂热电阻)传感器和1个单头加热器，用于测量和控制辐射屏温度。二级冷头上安装1个硅二极管传感器，实时检测二级冷头温度

u 探针台提供四路温度测量和两路加热输出，组成两路闭环控制，一路闭环控制包括一路温度测量和一路加热输出，一路闭环控制用于样品台，另一路闭环控制用于辐射屏，其余两路温度测量分别用于探针臂和二级冷头。控温仪温度分辨率1mK，加热功率75W，具备通信接口，提供控温软件实施显示监测温度、控制温度

u 探针台配备工业 CCD 电子显微镜，显微镜 3400万像素，分辨率小于4μm，22 英寸显示器

u 低温原位探针，消除热应力，全温区操作，无需二次扎针，针托接口SMA，漏电小于100fA

2、机械泵机组

u 前级泵抽速2.2L/s

u 配置KF25卡箍2个及1.5m柔性波纹管1根

3、一体水冷机

u 水冷机功率不低于8KW

u 水箱容积90L，水温5-35℃

从售前方案对接、售中专业安装，到售后实操培训与技术支持，蓝海科学仪器全程跟进、用心服务。我们坚持以可靠产品为基石，以全流程贴心服务为保障，让仪器更有温度，持续助力高校科研与人才培养。