蓝海科学仪器自研真空探针台及操作系统顺利出厂

发布时间:2025-09-11 15:23 725次浏览 作者:蓝海科仪(天津)仪器仪表有限公司

技术指标

1.总体要求

（1）极限真空1×10^-3Pa；

（2）工作真空0.05Pa；

（3）真空腔内探针数≥4；

（4）载片台温度范围：室温~200℃；

2.详细要求

2.1 载片台要求

（1）支持6英寸及以下圆片；

（2）载片台位移要求：通过电动控制移动XY方向,范围正负75mm，4根探针可覆盖6英寸芯片每个位置；

（3）支持多个单芯片分区固定在卡盘，芯片尺寸可支持2mm*2mm；

（4）芯片或整晶圆固定方式可采用卡盘夹具物理固定或胶粘固定并提供相应夹具和粘胶材料；

2.2 温控系统

（1）配备专门降温模块，设备所有阀门全开，达到0.05Pa的时间不超过 30min；

（2）腔体内至少配备三支温度传感器；

（3）可控温度范围且可长时间保持设定温度超过24h：室温~200℃且高温下长时间工作腔体散热，电子元器件工作正常；

2.3 显微镜

（1）配备单筒显微镜，可清晰观察到电极大小40um*40um；

（2）配备5x物镜；

（3）CCD成像系统外接高清显示屏：屏幕尺寸不小于24英寸，2k分辨率，数码放大倍数0.7-5.6X；

（4）符合人体工学设计高度，适合长时间操作及观察；

（5）可手动调节高度及放大倍数并外接电脑显示屏CCD观察，内嵌测量软件；

2.4 探针引出口

（1）4个真空同轴接口，可安装多种探针包括：直流针，低漏电开尔文针等；

（2）预留2个接口，每个预留口盲板上配有8个BNC接口及8根BNC线缆，线缆连接到腔体内的转接板上，可拆卸，使用转接板时载片台不移动；

2.5 探针

（1）探针位移行程：XYZ不小于50mm，25mm，25mm；

（2）探针臂可在全温区、真空环境下长期稳定使用；

（3）配备4根低漏电开尔文探针；

2.6 真空系统及腔体

（1）真空腔体内带有防辐射屏设计；

（2）真空腔观察口直径不小于90mm；

（3）配备腔体全量程真空计，真空计在腔体内抽气口的远端，用于真空测量，并预留真空计校验检测接口；全量程真空计品牌：mpg400+vgc501；量程范围：大气压至极限真空1E^-3Pa；

（4）真空系统的防呆功能：真空度值>10pa时，分子泵的插板阀不可手动开启的警告/警示功能；

（5）真空腔体带真空保持功能：主腔和分子泵之间配备手动开合度可调阀门、配备精细进气控制调节阀，手动控制旁抽阀等；

（6）支持在分子泵工作时，腔和分子泵之间阀门可完全关闭,真空腔室可通过调整精细进气控制调节阀配合旁抽阀和干泵维持在粗真空下工作；

（7）真空系统硬件型号及技术参数要求，分子泵抽速：≥200L/s，极限真空≤5E^-7mba，前级机械泵为干泵，抽速≥4L/s；分子泵型号TYFB-200Z，干泵型号：IDSP16；

（8）腔体漏率≤1E^-9Pa m³/s，并配有检验接口；

（9）真空腔体采用为316不锈钢，腔体尺寸直径420mm，高160mm，腔体采用密封圈密封，腔体在长期200℃工作时密封圈温度无影响；

（10）真空腔体极限真空1×10^-3Pa，工作真空0.05pa

2.7 防震要求

（1）采用一体式防震结构或配备防震桌；

2.8 软件要求

（1）包含温度控制、真空监测功能；

（2）真空报警，防止使用人员误操作启动分子泵

近日，蓝海科仪自研的真空探针台已顺利出厂，投入使用。

从核心技术攻关到整机调试，蓝海科仪始终以匠心打磨每一处细节：通过自主研发打破进口依赖，在真空环境控制、探针定位精度等关键指标上达到国际水准，同时针对国内科研场景优化操作界面，让精密仪器不再 "高冷"。

面向未来，蓝海科仪将继续以创新为翼，在磁场、低温、真空等领域持续突破，用更多 "好用、耐用、实用" 的国产仪器，为高校实验室、企业研发中心提供可靠支撑。以匠心铸器，以科技报国 —— 每一台稳定运行的国产设备，都是蓝海科仪对 "科技自立自强" 的坚定回应。​

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