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低温真空探针台的特点

来源:http://www.lh-ky.com/news/37.html  发布时间 : 2018-07-30

低温真空探针台的特点

北京蓝海科仪定制研发的高低温真空探针台是一种利用液氦/液氮快速制冷提供真空和低温测试条件下进行电学测量的测量平台。该低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量。

高低温真空探针台,温度范围可选(4K-480K),适用于真空高低温环境下样品测试。探针台属于非标产品,均可根据客户需求进行定制。
整体规格:                                             
温度范围:4.2K-480K        
外置4个定位针臂
探针X-Y-Z三方向移动,行程:25mm,定位精度:10微米
多可以外置6个定位针臂
载物chuck 大可到2寸
双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度
针臂定位精度可以升级为0.7微米
极限真空到10-8 torr
可以选择射频配件做高67 GHz的射频测试
可以选择防震桌可以选择超高真空腔体



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