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探针台的选型

来源:http://www.lh-ky.com/news/147.html  发布时间 : 2020-04-01

探针台的选型
 探针台的选型需要根据具体应用需求和预算,应用方面需要确定以下的问题:

1、zui大需要测几英寸的晶圆或者器件?是否需要测试破片或者单颗芯片, zui小的单颗芯片尺寸?
2、探针台机械精度要求多高? 
3、点测样品的电极尺寸?100um*100um或60um*60um的pad,还是FIB制作的mini pad,或者ic内部的metal线路? 
4、多需要几根探针同时去点测? 
5、是否会用到探针卡测试? 
6、光学显微镜的zui小分辨率需要用到多少? 
7、显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测? 
8、 探针点测时,对电流的要求是否达到100fa或者以下?低电容的要求是否要做到0.1pf?是否有射频的需求? 
9、接驳的测试仪器接口有哪些? 
10、测试环境时是否会需要加热或者降温? 是否需要密闭腔体?
11、对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck? 
12、是否需要防震桌? 
13、若添置防震桌,是否有压缩空气?
 
在确定技术需求和预算后,我们就可以很快的选择合适的探针台。

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